第二百四十四章 Spi超级光学镜片(2 / 3)

果然和胡来猜想一样,几人都是来自中院芯片研究所的顶尖教授。

胡来一一打过招呼,会议也正式步入正题。

他将随身带来的笔记本电脑连接到投影仪上,打开昨天特意准备的一部分技术资料截图。

在所有人注目下,投影幕布上清晰显示出一张高清图片。

胡来环顾众人,开始解释起来:

“各位专家,我们都知道,在EUV光刻机里,现在卡住我们的主要是光源、反光镜、纳米定位(精度)和组装工艺。”

“这张图片的技术资料,是EUV光刻机重要的光源制造技术,和现在技术利用‘二氧化碳激光轰击金属锡获得EUV等离子体’不同,我们突破了另一种更为简单获取EUV光源的技术……”

话音刚落,几声轻微的惊咦声在会议室响起。

胡来仔细的讲解着图片上的技术内容,紧接着一张又一张的图片出现在幕布上。

“这一张图片上的内容,同样是光刻机最核心的部件——纳米定位器,这是我们纳米定位对准显微系统的3D结构图,这个定位系统可以精确到亚纳米级……”

“……”

“最后这几张图片是我们的技术组装文档,因为每个部件实在太多,我简单介绍个大纲然后详解一个部件……”

胡来做了一晚上的功课显然颇有成效,随着一张张技术资料的截图出现在投影幕布上,会议室彻底安静的只剩胡来一个人的声音。

而当他最后拿出光刻机组装文档后,在场所有专家再也忍不住,纷纷开始低声讨论起来。

何首长此时心里也有些紧张,他对技术并不了解,所以会议开始后他主要观察着会议室内的情况。

令他没有想到的是,从投影幕布上出现第一张图片开始,专家组所有成员马上就被幕布上的内容吸引,他们双眼死死盯着投影幕布,那神情、那样子分明就是突然进入了一个全新的知识领域。

分明就是胡来介绍的技术资料深深吸引了他们!

也就是说,凤凰集团确实有光刻机技术底蕴的!

想到这里,何首长也难得紧张,他看着已经达成一致意见的专家组,说道:

“李教授,你们的意见是?”

说完这句,不仅是何首长,一旁的陈海也屏住呼吸,虽然这两天的接触后他非常信任胡来,但这毕竟关乎国家大事,关乎本次弹判策略……

李教授听到被点名,推了推眼镜,又看了一眼胡来,这才说道:

“何首长,这么短的时间内我们没有100把握,而且刚才胡总介绍的许多突破性的技术……说实话,我们并没有见过。”

“不过,除了我们不了解的新科技,胡总讲的其他内容都是正确的,特别是最后的组装技术资料,我们一致认为内容远超我们国内水平。”

李教授怕何首长没听明白,详细解释了一下。

“是这样的,首长。”

“具体来说,光刻机组装技术是生产光刻机非常重要的技术,重要性甚至比单项技术光源制造、纳米定位还要高,例如ASML公司,他们生产的EUV光刻机实际上95的零部件都是全球采购的。”

“按理来说,但凡任何公司能采购到相应的零部件就能生产出同样的EUV光刻机,但实际上并不是这样!”

“我们了解过ASML公司的光刻机组装流程,他们的精密度的要求堪称工业制造之最,比如拧一颗螺丝钉,他们都已经不是用毫米计算精度,而是精确到几忽米,1忽米可是只有0.01毫米,其精密度可想而知!”

“而刚才胡总介绍的组装技术里,不仅各个部件的精密度数据非常详细,而且,采取的组装方式也是模