的三个核心突破技术,包括不到100pmRMS级别的抛光技术,还有他们的双工作台技术,以及那最关键的RDX纯硅晶体,可全都是林晓花时间搞定的,而他们解决的,最多也就是一些比较普通的技术难关。
除了感到有些不好意思,他们也算是知道了,有一个神级队友是多么爽的事情,几乎他们都没有做什么,然后不管多难的问题,都能够被迅速地解决掉。
到了现在,虽然这五台光刻机还没开机,但也算是他们最接近成功的时候了。
站在林晓旁边的副总设计师杨凯平,也好好地欣赏了一下眼前的这五台大家伙,直到心潮不再澎湃之后,便将目光看向林晓,问道:“林总师,接下来咱们怎么做?”
随着他的问题问出,其他人也都将目光看向了林晓,同样都等待着他的回应。
林晓深呼吸一口气,而后朗声道:“开机!”
听到林晓的话,杨凯平也立马转头看向负责电源的那一组,高喊道:“开机!”
下一刻,负责电源的工作人员,拉下了五个电闸,每天X光刻机都由一个电闸控制,五个电闸打开后,X光刻机的操作台上,代表了电源通入的灯光亮了起来。
而后,每台光刻机操作台前都站着一名人员,则按下了电脑主机的启动键,而后,负责控制整台光刻机的电脑,便启动了。
系统采用的是linux系统,桌面上什么都没有,只有一个软件。
软件名叫X光计划光刻机控制面板。
这个软件,便是X光计划软件组搞出来的,可以说,从X光计划开始之后,他们便一直都在写这样一个软件。
这个控制面板就相当于他们X光刻机的操作系统了,软件并不复杂,但是里面的代码,就相当的复杂了。
光刻机本身的硬件能否达标,是保证光刻机性能的关键,而软件,就关系到能否正常发挥出性能的作用了,当然,即使把软件给做出来了,也得会用软件,否则的话都是白搭。
像华芯国际和台积电都买了阿斯麦尔的DUV光刻机,但是台积电能够做到用DUV光刻机生产7nm芯片的技术,而华芯国际却只能做到14nm,便是因为不能很好地运用软件。
当然,在使用软件之前,他们也得先保证眼前这个软件是能够正常工作的。
首先点开软件,经过了一番缓慢地加载后,终于,进入了软件的首页面,全中文操作界面,不包含一个英文字母。
而这时,林晓也走到了其中一台光刻机操作台前,指挥道:“先对整台光刻机进行一遍系统自检。”
“是!”
负责操作这台光刻机的工作人员立即应道,随后便进入了控制面板系统界面,点击了系统自检。
既然是自检,那自然是检测一下内部每个零部件能否正常运行,当然最关键的,还是检测一下这些机械运行的精度能否达标,以及X光源能否正常激发,并且能否正常被RDX纯硅晶体镜规律衍射等。
经过片刻的加载后,显示器上便出现了进度条,这是自检开始了,不过,光刻机内部依然安静,不像其他机器一样,一运作起来就有各种噪声。
因为,有声音,就说明有震动,而对于光刻机来说,哪怕是一点震动都是致命的,所以光刻机里面一切机械,都基本上做到了无摩擦,像双工作台也都是利用磁悬浮的方式来避免发生震动,当然,双工作台也算是光刻机核心机械中唯二会动的了,然后就是控制透镜的机械臂也会动,其他的核心零部件基本都不会动,变数越多,越难控制。
就这样,时间慢慢过去了,所有人都沉声凝气,或者是面露紧张之色,等待着结果的出现,甚至有人都开始祈祷起来。
因为这一步